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    GC?系列高壓高純過濾器

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    3A-GC?-TK 超高純氣體過濾器時間:2021-06-01

    高純氣體過濾器小圖.jpg

    3A-GC?-TK 超高純氣體過濾器

          3A-GC?-TK 超高純氣體過濾器系列產品超高精度可達0.0025um,是工業過濾凈化領域中精度超高的產品,本系列產品都是在十萬級無塵車間內精密制造而成,具有高精度、耐高溫高壓的特性,主要應用于食品、電子、科研、化工等領域。

    高純氣體過濾器構造圖.jpg


    產品性能參數    

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    產品特點

    ■應用范圍廣,流量范圍從15到300SL/min。

    ■與大多數高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性。

    ■3納米顆粒過濾能力保持高流量效率,超小壓降。

    ■5Ra電拋光表面可防止內部污染。

    ■在去離子水清洗后用熱氮氣烘烤,以滿足半導體工藝標準。

    ■100萬級無塵無菌車間制造,清潔和包裝環境。

    ■測試100%氦泄漏。


    如有特殊工況,亞特蘭接受OEM定制,免費熱線電話:400-003-1979

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